Linde gab in einer aktuellen Pressemitteilung bekannt, dass das Unternehmen einen neuen hochreinen SPECTRA-Stickstoffgenerator in Betrieb genommen hat, um den Ausbau eines führenden Halbleiterherstellers im ZhangJiang High Tech Park, Shanghai, zu unterstützen.
Der Stickstoff von Linde werde in der gesamten neuen Halbleiterfertigungsanlage eingesetzt, um Anwendungen im direkten Produktionsprozess und das allgemeine Spülen und Inertisieren verschiedener Halbleiterfertigungssysteme zu unterstützen, heißt es weiter. Die neue Anlage, die vom Joint Venture Linde LienHwa (LLH) von Linde installiert und betrieben wird, soll auch bestehende Kunden im Industriepark mit Stickstoff versorgen.
“Wir haben eng mit unseren Kunden zusammengearbeitet, um die Infrastruktur für hochreine Gase zu erweitern, die für ihre fortschrittlichen Wafer-Verarbeitungsanlagen erforderlich ist”, sagte Stan Tang, Präsident von LLH China.
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